導入一完整、嚴密的MES系統為一晶圓製程產業不可或缺的關鍵系統,晶圓製程具備高度製程參數追蹤控管需求以及重複性高的製程控管需求,而MESSeries®提供完整、封閉性性的製程參數控管機制以及製程模組(process module)控管、建置方式,完整契合晶圓製造層級的MES系統需求。

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